金剛石已成為半導(dǎo)體行業(yè)的熱點。與現(xiàn)有的半導(dǎo)體材料相比，金剛石憑借其熱管理、成本/效率優(yōu)化和二氧化碳減排三大優(yōu)勢，正蓄勢成為“半導(dǎo)體的終極材料”。因此，全球各國都在攻克金剛石量產(chǎn)商用前的關(guān)鍵技術(shù)。
成立于2019年的“啟晶科技”，是行業(yè)領(lǐng)先的MPCVD金剛石材料生產(chǎn)企業(yè)，專注于高質(zhì)量、大尺寸培育金剛石的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售。公司產(chǎn)品主要有CVD金剛石晶圓片、CVD金剛石單晶系列。目前，公司擁有國內(nèi)首創(chuàng)CVD設(shè)備，4英寸產(chǎn)品領(lǐng)先市場和競爭對手一個代際以上。啟晶科技已入選重慶市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會“2024年第一批重慶市創(chuàng)新型中小企業(yè)名單”。自主研發(fā)行業(yè)最大功率MPCVD設(shè)備
微波等離子CVD（MPCVD）法能有效提高單晶金剛石的沉積速率和質(zhì)量，國內(nèi)企業(yè)一直依賴于進(jìn)口，但價格昂貴，大約500-800萬元/臺。啟晶科技公司技術(shù)負(fù)責(zé)人楊竣焜是美國哈佛大學(xué)應(yīng)用科學(xué)博士、電子材料專家，從2012年起開始金剛石半導(dǎo)體的研發(fā)試驗，其成功研發(fā)大功率915MHzMPCVD設(shè)備，解決了大尺寸金剛石種植等技術(shù)難點，突破了多項行業(yè)瓶頸，也是公司的核心技術(shù)。根據(jù)微波頻率的不同，可以將金剛石MPCVD系統(tǒng)分為2.45GHz和915MHz兩類。啟晶科技采用的915MHz制備技術(shù)相對更優(yōu)，突破了大尺寸金剛石晶圓生長、高沉積速率高質(zhì)量金剛石生長、等離子體控制等多項行業(yè)技術(shù)難題，掌握了各類培育金剛石產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝參數(shù)。915MHzMPCVD法采用在硅、鉬、金剛石晶種基板上進(jìn)行異質(zhì)外延或同質(zhì)外延生長方式制備純度較高、尺寸較大的金剛石單晶或多晶產(chǎn)品。設(shè)備運行功率方面，行業(yè)內(nèi)普遍采用的2.45GHz設(shè)備主要集中在6-15KW。截至目前，國內(nèi)尚無其他企業(yè)可以使用25KW以上大功率915MHzMPCVD裝置，達(dá)到大尺寸金剛石晶圓的量產(chǎn)條件。
公司的915MHzMPCVD設(shè)備已實現(xiàn)全國產(chǎn)化，可降本50%。目前，設(shè)備以每天不低于10um的速率在基底上沉積直徑大于4英寸（101.6mm）、厚度約為0.1-2毫米的金剛石多晶晶圓片，硅晶圓襯底的金剛石成品率可達(dá)90%以上，已實現(xiàn)量產(chǎn)。
啟晶科技客戶主要聚焦在數(shù)十家行業(yè)頭部高校院所、應(yīng)用端高價值企業(yè)客戶,在金剛石半導(dǎo)體材料研發(fā)與應(yīng)用端代表了國內(nèi)最先進(jìn)的技術(shù)應(yīng)用前景，以市場助推技術(shù)的發(fā)展，使啟晶科技的研發(fā)能力得到不斷提升與延伸。此外，啟晶科技長期維護(hù)的高價值企業(yè)客戶分別在半導(dǎo)體與精密加工領(lǐng)域有著優(yōu)異的國內(nèi)外市場拓展與需求響應(yīng)能力，其中部分客戶主要聚焦于歐美市場，而另一些客戶主要服務(wù)于富士康、比亞迪、三星等知名頭部企業(yè)。其均對產(chǎn)品交付標(biāo)準(zhǔn)有著極高的技術(shù)要求。預(yù)計2025年6英寸金剛石半導(dǎo)體產(chǎn)品可實現(xiàn)量產(chǎn)
目前，啟晶科技研發(fā)人員占比超66%，并與國內(nèi)多所知名重點高校達(dá)成產(chǎn)學(xué)研合作，積極開展多項聯(lián)合研發(fā)項目突破與落地，是重慶渝策經(jīng)濟(jì)技術(shù)研究院新材料中心的核心技術(shù)支持方。
2024年，公司擬投入60臺MPCVD設(shè)備，預(yù)計每臺設(shè)備可實現(xiàn)月產(chǎn)4英寸金剛石晶圓片10片，每年可增加營收3.96億元。同時，公司的4英寸金剛石半導(dǎo)體將實現(xiàn)商業(yè)化應(yīng)用，并與頭部企業(yè)達(dá)成戰(zhàn)略合作。2025年，公司的6英寸金剛石半導(dǎo)體產(chǎn)品實現(xiàn)銷售收入。自此，啟晶科技成為國內(nèi)首家實現(xiàn)4、6英寸金剛石半導(dǎo)體產(chǎn)品規(guī)?；?、產(chǎn)業(yè)化企業(yè)。此外，作為全國唯一一家擁有大功率915MhzMPCVD設(shè)備一期（四年）研制經(jīng)驗基礎(chǔ)，啟晶科技正在進(jìn)行第二代更大功率（75KW 915MHZ微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備）設(shè)備、技術(shù)與產(chǎn)品工藝中試的研發(fā)攻關(guān)。目前，啟晶科技正在進(jìn)行新一輪融資。本輪融資旨在突破當(dāng)前我國面臨的金剛石半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈卡脖子問題，以進(jìn)一步實現(xiàn)更大尺寸金剛石半導(dǎo)體材料在光學(xué)級、熱沉級、電子級領(lǐng)域的技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?。版權(quán)歸原作者或機(jī)構(gòu)所有，如有侵權(quán)聯(lián)系刪除
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